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    产品详情
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    • 产品型号:CY-PECVD-R
    • 产品厂商:成越科仪
    • 产品文档:
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    简单介绍:
    本产品为PECVD-R?旋转等离子加强CVD设备。PECVD-R?旋转等离子加强CVD设备十分适合在气氛保护的环境下连续对粉末材料用CVD方法进行包裹和修饰。
    详情介绍:

    旋转PECVD 

    本产品为等离子增强回转化学气相沉积系统(旋转PECVD),炉管采用变径设计,中部管径较粗且有有混料隔板,能够随着炉管的旋转将粉体或者颗粒反复混合,通过机械传动控制工作管能360°不间断旋转,使得管内物料搅拌混合获得均匀受热效果;设备另配有等离子发生装置,采用电感耦合与炉管连接,产生的等离子能够满布炉管,有效的提高反应物活化能,降低反应温度,提高反应效率。设备配有三路质量流量计及混气装置,可用于向路管内通入多种气体,同时设备配有高性能机械泵,能够快速将炉管抽至真空;通过泵和气路的配合可以实现多种CVD工艺。旋转装置十分适合在气氛保护的环境下连续对粉末材料用CVD方法进行包裹和修饰。

    技术参数

    双温区管式炉

    产品型号

    CY-O1200-60IIC-R

    设备功率

    3KW

    炉管材质

    高纯石英

    炉管尺寸

    Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm(石英异型管)

    炉膛长度

    440mm

    加热区长

    200mm+200mm

    工作温度

    0~1150℃

    极限温度

    1200℃

    控温精度

    ±1℃

    热电偶类型

    K型热电偶

    控温模式

    30段程序控温,PID参数自整定

    显示模式

    高清全彩LCD触控屏

    密封方式

    304不锈钢真空法兰

    供电电源

    AC:220V 50/60Hz  

    旋转速度

    0~13rpm

    倾斜角度

    0~35°

    3路质量流量计

    产品型号

    CY-3Z

    气路数量

    3路

    流量计类型

    质量流量计

    测量范围

    A路:0~100sccm; B路:0~200 sccm; C路:0~500 sccm

    测量精度

    ±1.5%

    工作压差

    0.1~0.5MPa

    管路接口

    1/4英寸卡套接头

    供电

    AC220V 50/60Hz

    真空系统

    真空泵

    双极旋片泵

    抽速

    1.1L/s

    抽气接口

    KF16

    泵极限真空度

    10E-1Pa

    供电

    AC220V 50/60Hz

    射频电源

    信号频率

    13.56MHz±0.005%

    功率输出范围

    0~500W

    *大反射功率

    100W

    射频输出接口

    50Ω,N-Type,female

    功率稳定度

    ≤5W


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